- China treibt ein großangelegtes staatliches Projekt mit dem Ziel technologischer Eigenständigkeit bei AI-Halbleitern voran
- Mit einem heimlich aufgebauten Prototypen für EUV-Lithografieanlagen wird versucht, Eigenständigkeit bei modernsten Halbleitern zu erreichen
- Ehemalige ASML-Ingenieure waren beteiligt und erzielten Erfolge bei der Erzeugung einer Lichtquelle für extremes Ultraviolett (EUV), doch die kommerzielle Chipproduktion wurde noch nicht erreicht
- Als langfristiges, staatlich geführtes Projekt ist Huawei vom Design über Ausrüstung bis zur Fertigung umfassend involviert
- Trotz westlicher Exportkontrollen sammelt China Know-how durch Umgehungsbeschaffung gebrauchter Anlagen und Komponenten sowie Reverse Engineering
- Als Zieltermin wurde 2028 genannt, intern gilt jedoch 2030 als realistischer Zeitplan
Überblick: Chinas Versuch der EUV-Eigenständigkeit
- Es wurde bestätigt, dass China in einer Hochsicherheits-Forschungseinrichtung in Shenzhen einen Prototypen für eine EUV-Lithografieanlage fertiggestellt hat und testet
- Die Anlage ist ein zentrales Werkzeug für ultrafeine Halbleiterfertigungsprozesse, die für AI, Smartphones und militärische Systeme unverzichtbar sind — ein Bereich, den der Westen bislang dominiert hat
- Der Prototyp ist so groß, dass er eine ganze Fabriketage füllt, wurde Anfang 2025 fertiggestellt und hat bereits die Erzeugung einer EUV-Lichtquelle erreicht
Bedeutung und aktueller Stand der EUV-Technologie
- EUV ist eine Technologie, mit der Schaltungsmuster, die tausendfach dünner als ein Haar sind, in Siliziumwafer eingebracht werden und die damit die Chip-Leistung maßgeblich bestimmt
- Derzeit gibt es mit ASML nur ein einziges Unternehmen, das kommerzielle EUV-Anlagen besitzt; der Preis pro Anlage liegt bei rund 250 Millionen US-Dollar
- Der chinesische Prototyp hat bislang noch keine funktionsfähigen Chips produziert, zudem besteht bei der optischen Präzision noch ein großer Abstand
Projektstruktur und führende Akteure
- Das Projekt ist das Ergebnis einer sechsjährigen nationalen Strategie zur halbleitertechnologischen Eigenständigkeit und wird als zentrales politisches Vorhaben von Xi Jinping eingestuft
- Der Kreis um Ding Xuexiang, der die Zentrale Kommission für Wissenschaft und Technologie leitet, übernimmt die Gesamtsteuerung, während Huawei ein Netzwerk aus Unternehmen und Forschungseinrichtungen koordiniert
- Beteiligte bezeichnen das Vorhaben als Chinas Version des „Manhattan-Projekts“ mit dem Ziel vollständiger technologischer Unabhängigkeit
Personalgewinnung und Sicherheitsstruktur
- An dem Projekt sind zahlreiche pensionierte ASML-Ingenieure und Wissenschaftler chinesischer Herkunft beteiligt
- Einige nutzen Ausweise unter falschem Namen und arbeiten vollständig von der Außenwelt abgeschottet
- Seit 2019 läuft eine aggressive Abwerbung internationaler Halbleiterfachkräfte mit hohen Vertragsprämien und Wohnzuschüssen
- Aufgrund europäischer Datenschutzgesetze stößt ASML bei der Nachverfolgung ausgeschiedener Mitarbeiter und der Durchsetzung von NDAs an Grenzen
Technische Hürden und optische Probleme
- Der chinesische Prototyp ist in Größe und Aufbau deutlich gewaltiger als die Anlagen von ASML und wird noch als grob unausgereift bewertet
- Der größte Engpass besteht darin, dass das hochpräzise optische System von Carl Zeiss bislang nicht ersetzt werden kann
- Bei der Erzeugung von extremem Ultraviolett bleiben ultrahochtemperatur-Plasma, Kontaminationskontrolle und Stabilität zentrale Herausforderungen
Komponentenbeschaffung und Umgehungsstrategien
- China beschafft Schlüsselkomponenten über gebrauchte Teile von ASML-Anlagen und den Sekundärmarkt
- Es gibt Hinweise, dass auch von Exportbeschränkungen betroffene Komponenten japanischer Unternehmen wie Nikon und Canon über Zwischenhändler ins Land gelangen
- Über internationale Bankenauktionen und Alibaba Auction werden ältere Lithografieanlagen kontinuierlich gehandelt
Huaweis Rolle und Organisationsweise
- Huawei ist von Chipdesign über Ausrüstung und Fertigung bis zur Produktintegration direkt entlang der gesamten Lieferkette eingebunden
- Mitarbeiter der Halbleiterteams arbeiten mit Unterkunft vor Ort und eingeschränkter Kommunikation, während Informationen zwischen Teams strikt getrennt werden
- Es bleibt ein System bestehen, in dem CEO Ren Zhengfei den Fortschritt direkt an Chinas oberste Führung berichtet
Zeitplan und Bewertung
- Das Regierungsziel ist die Produktion funktionsfähiger Chips bis 2028, intern gilt jedoch 2030 als realistischer
- Wenn man berücksichtigt, dass ASML seinen Prototyp nach 2001 erst 2019 erfolgreich kommerzialisieren konnte, ist erhebliche weitere technologische Aufbauarbeit erforderlich
- Analysten bewerten es als bedeutsamen Fortschritt, falls Leistung, Zuverlässigkeit und Kontaminationskontrolle der EUV-Lichtquelle gesichert werden
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